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光刻機水冷機組定時保養知識須知

簡要描述:元器件高低溫測試裝置在用于惡劣環境的半導體電子元件的制造中,IC封裝組裝和工程和生產的測試階段包括在溫度(-85℃至+ 250℃)下的電子冷熱測試和其他環境測試模擬。光刻機水冷機組定時保養知識須知

  • 產品型號:AES-4535
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-13
  • 訪  問  量:1998
詳情介紹
品牌LNEYA/無錫冠亞冷卻方式風冷式
價格區間5萬-10萬產地類別國產
儀器種類一體式應用領域化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

 型號AES-4535
 AES-4535W
AES-6035
 AES-6035W
AES-8035
 AES-8035W
AES-A1035WAES-A1235W
溫度范圍-45℃~225℃-60℃~225℃-80℃~225℃-100℃~225℃-120℃~225℃
制冷量-45℃2.5kW    
-60℃ 2kW   
-80℃  1.5kW  
-100℃   1.2kW 
-120℃    1.2kW
溫控精度±0.5℃±0.5℃±1℃±1℃±1℃
溫度轉換時間-25℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -25℃
約20s
-45℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -45℃
約20s
-55℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -55℃
約15s
-70℃ to 150℃ 約10S
150℃to  -70℃
約20s
-80℃ to 150℃ 約11S
150℃to  -80℃
約20s
空氣要求空氣濾清器<5um
空氣含油量:<0.1ppm
空氣溫濕度:5℃~32℃  0~50%RH
空氣處理能力7m³/h ~ 25m³/h  壓力5bar~7.6bar
系統壓力顯示制冷系統壓力采用指針式壓力表實現(高壓、低壓)
循環系統壓力采用壓力傳感器檢測顯示在觸摸屏上
控制器西門子PLC,模糊PID控制算法
溫度控制控制出風口溫度
可編程可編制10條程序,每條程序可編制10段步驟
通信協議以太網接口TCP/IP協議
設備內部溫度反饋設備出口溫度、制冷系統冷凝溫度、環境溫度、壓縮機吸氣溫度、冷卻水溫度(水冷設備有)
溫度反饋T型溫度傳感器
壓縮機法國泰康/艾默生
蒸發器套管式換熱器
加熱器法蘭式桶狀加熱器
制冷附件丹佛斯/艾默生配件(干燥過濾器、油分離器、高低壓保護器、膨脹閥、電磁閥)
操作面板無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示EXCEL 數據導出
安全防護具有自我診斷功能;相序斷相保護器、冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。
制冷劑冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸(風)cm54*69*13254*69*13275*73*13380*120*185100*150*185
外型尺寸(水)cm54*69*13254*69*13275*73*13370*100*17580*120*185
風冷型采用銅管鋁翅片冷凝方式,冷凝風機采用德國EBM軸流風機
水冷型 W帶W型號為水冷型
水冷冷凝器板式換熱器(務必確保冷卻水清潔)
冷卻水量 at 25℃0.6m³/h
G3/8
1.2m³/h
G3/4
1.6m³/h
G1
2.6m³/h
G1
3m³/h
G1
電源 50HZ max3.7kW 220V5kW 220V5kW 220V6.8kW 220V7.5kW 220V
電源可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質冷軋板噴塑 (標準顏色7035)
溫度擴展高溫到 +300℃

 

 

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong><strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

<strong><strong><strong><strong>蝕刻液冷卻裝置的類型和機油要求</strong></strong></strong></strong>

光刻機水冷機組定時保養知識須知

光刻機水冷機組定時保養知識須知

  掌握調整蝕刻機冷卻循環裝置運行功率的方法,企業運行滿足需求的前提下,控制蝕刻機冷卻循環裝置的運行功率。控制蝕刻機冷卻循環裝置處于低效率運行狀態,能夠減少設備消耗的數量。

  一、用電環境要好

  想要降低蝕刻機冷卻循環裝置電量,需要為蝕刻機冷卻循環裝置提供優良的用電環境。例如用電環境的電壓比較低,蝕刻機冷卻循環裝置設備為保持穩定的運行效率,必然加大電能的消耗。

  二、設備的運作要提前計劃好

  加入要維護蝕刻機冷卻循環裝置的和系統的穩定,那么要以前做好設備的運作計劃,不論什么設備都要有提前的計劃,如果沒有會使機器滿負荷運載,這就會影響到蝕刻機冷卻循環裝置運行的。

  三、要定期的保養

  對蝕刻機冷卻循環裝置進行定期的維護可以保證蝕刻機冷卻循環裝置的壽命的煙瘴,不論是什么設備只要維護好了,那么設備的效能也會相應的會減少的慢。

  四、四周環境的影響

  現在的環境對機器的影響還是比較大的,好的環境會提供機器的效能,相反則會降低機器的效能,所以好的環境對機器是有一定的影響的。

  五、冷凝器的溫度

  冷凝溫度的降低會是冷卻效果更好,因為在開始使用的時候,冷卻塔時會有一定的裕量,所以需要加大原有的冷卻塔水,讓冷卻水的效能更好。

  六、配置可調節線圈

蝕刻機冷卻循環裝置在運行的時候,如果運行時間較長,能源消耗非常多。可以為蝕刻機冷卻循環裝置安裝調節線圈,根據環境溫度調整適合的運行功率。

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